发布时间:2023-03-05 00:22:02点击量:
记者从电子科技大学得知，由该校联合申报的国家重点研发计划战略性先进设备电子材料专项项目高性能无源脆弱薄膜材料Si基异质异构构建方法及传感器芯片研发获批立项。该项目由电子科大微电子与液体电子学院张万里教授作为项目负责人，牵头中国电科26所、中国电科24所，中科院新疆化学系所、中科院上海微系统所、西安微电子所、华中科技大学、苏州大学以及贵州雅光电子等10余家科研院所、大学、企业联合研制。
据报，这是该校联合取得的首个上亿元的国家重点研发计划项目，项目总预算约11705万元。XNp据理解，该项目从传感器芯片领域的关键科学问题和根本性共性关键技术抵达，研究高性能无源脆弱薄膜材料的制取方法和传感器与集成电路的构建技术，构建硅基晶圆上无源脆弱薄膜的可掌控补和传感器芯片的构建加工，研制出磁阻、红外气体、海洋测温、液体黏度等硅基传感器芯片，并在工业掌控、海洋水文、安全性生产等领域样板应用于。该项目的立项，反映了我校在电子薄膜材料及器件构建技术等领域的能力和实力，将更进一步提高我校材料、器件研究水平，切断材料制取－器件构建－系统应用于仅有链条。据该校宣传部涉及负责人讲解，该研究成果将在增进传感器产品升级换代，助推新兴产业、推展军民融合和培育电子材料与器件填充人才等方面产生明显效益。
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